Metrios 系统是第一款半导体行业专用 TEM，它能根据半导体制造商的需要快速、精确地开展测量，帮助他们开发和控制晶圆片制造工艺。基本 TEM 操作和测量步骤实现了高度自动化，最大限度降低了为操作员提供专门培训的需要。而且，先进的自动化测量过程相比手动方法具有更大的精度。Metrios TEM 旨在为客户提供比其他 TEM 更高的通量和更低的单位样本成本。